推荐文章碲镉汞光子计数型线性雪崩探测器（特邀）技术资讯资讯信息

单位：中国科学院上海技术物理研究所

郭慧君, 陈路, 杨辽, 沈川, 谢浩, 林春, 丁瑞军, 何力. 碲镉汞光子计数型线性雪崩探测器（特邀）[J]. 红外与激光工程, 2023, 52(3): 20230036. doi: 10.3788/IRLA20230036

图 7 平面PIN型HgCdTe APD结构示意图

图8 探测到一个光子事件和两个光子事件时的概率分布和倍增层均匀分布的暗电流

图9 MOVPE异质结HgCdTe APD器件（a）阵列结构和（b）能带结构

图10 C-RED ONE相机

团队介绍：

中国科学院上海技术物理研究所碲镉汞雪崩焦平面技术团队由何力研究员和陈路研究员带头，拥有十多名核心骨干人员，依托中国科学院上海技术物理研究所红外成像材料与器件重点实验室材器中心在碲镉汞红外焦平面技术领域开展研究。团队具备材料生长、芯片制备、电路设计、测试封装的能力，建立了完整的碲镉汞红外焦平面工艺线，研制出一系列红外焦平面探测器产品，先后完成多项重大基础研究、航天工程型号、预研等任务，在红外焦平面研究领域拥有丰富的经验和研究基础。

团队负责人介绍：

何力，男，博士生导师，中国科学院上海技术物理研究所研究员，长期从事半导体材料和器件研究工作。先后主持了中科院创新工程以及航天工程等多项材料器件科研项目，带领科研团队，完成了多项关键技术攻关，为多项重大航天工程解决了核心器件难题。在基础研究方面，先后组织国内优势单位，主持完成了多色焦平面探测系统芯片、红外焦平面暗电流及其影响抑制基础研究2项重大基础研究，在硅基碲镉汞大面阵和双色焦平面器件、数字像元、光信号传输、数字信号处理、暗电流抑制和噪声等红外焦平面器件等机理基础问题研究以及发展新工艺新技术方面进行了大量工作，这些基础工作支撑了我国第三代红外焦平面技术发展。

陈路，女，博士生导师，中国科学院上海技术物理研究所研究员，主要从事半导体红外光电子材料外延和特性研究，围绕国际上学科发展的前沿和国家重大需求开展工作，解决了红外光电子半导体薄膜材料中一些基础性问题。十一五以来承担并参与国家、院级研究项目近10项。曾任多色焦平面探测系统芯片、红外焦平面暗电流及其影响抑制基础研究2项重大基础研究项目的课题负责人。主要致力于面向第三代红外焦平面探测器的碲镉汞分子束外延材料研究，包括在大面积薄膜材料实用化、高质量碲镉汞材料缺陷抑制技术、多层掺杂异质结技术等。十三五承担了碲镉汞线性雪崩焦平面的研究项目，发展了基于PIN结构的碲镉汞线性雪崩焦平面器件技术，包括线性雪崩探测器件物理模拟、PIN成结工艺实现方法与评估、光电器件响应特性研究。

郭慧君，男，硕士生导师，中国科学院上海技术物理研究所副研究员。入选上海市青年科技英才扬帆计划。主持了上海市杨帆、国家自然科学基金、ZB重大基础研究课题等项目。目前主要从事碲镉汞红外探测器物理机理、器件设计、制备和表征，近年来研究方向为碲镉汞材料相关的雪崩探测器、高温探测器、偏振探测器、感存算类脑芯片及超表面与探测器集成，发表论文30余篇。